유기풍 교수(산학부총장) 국제 학술회의 기조강연 2011-11-09
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화공생명공학과 유기풍 교수(산학부총장) 국제 학술회의 기조강연
유교수는 2011년 10월 9일부터 12일까지 4일간 네델란드 Den Haag에서 개최된
“The 13th European Meeting on Supercritical Fluids”에서 “Commercialization of SCORR(Supercritical CO2 Resist Removal)
Process System for the Mass Production of 300 mm Semiconductor Wafer”란 제목으로 기조강연(Keynote Lecture)을 하였다.
이 학술회의는 매 3년마다 개최되는 초임계유체 과학기술 분야의 국제전문학술단체(ISASF,International Society for the Development of Supercritical Fluids)가 주관하는 회의로 이번 회의에서는 28개국 300여명의 학자들이 참석하였다.